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Bosch Zwei Milliarden MEMS-Sensoren

| Redakteur: Bernd Otterbach

Neuer Stückzahlrekord bei Bosch: Seit dem Produktionsstart vor 16 Jahren hat das Technologieunternehmen zwei Milliarden MEMS-Sensoren hergestellt (Micro-Electro-Mechanical Systems).

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Dauerte es zum Erreichen der ersten Milliarde noch 13 Jahre, wurde die Zwei-Milliarden-Marke kürzlich nach nur drei weiteren Jahren übersprungen. Und die Produktionsmengen wachsen weiter. Zuletzt wurden jährlich nahezu eine halbe Milliarde Stück erreicht, das sind pro Arbeitstag mehr als 1,3 Millionen.

MEMS-Sensoren für die Automobil- und Consumer-Elektronik

Damit führt Bosch mit deutlichem Vorsprung die Weltrangliste im Markt für MEMS-Sensoren an. Automobil- und Konsumelektronikindustrie sind die wichtigsten Abnehmer. Bosch bedient sie über den Geschäftsbereich Automotive Electronics und die Tochtergesellschaften Bosch Sensortec sowie Akustica.

In Entwicklung und Produktion mikromechanischer Sensoren zählt Bosch zu den Unternehmen mit der längsten Erfahrung. Von Mitte der 80er Jahre an hatten Bosch-Forscher die Technologie der Volumen- und Oberflächen-Mikromechanik grundlegend erschlossen – in der Industrie wird deshalb einer der wesentlichen Bearbeitungsvorgänge „Bosch-Prozess“ genannt. Er ist der Schlüssel zur Großserienproduktion.

Nach Produktionsbeginn im Jahr 1995 setzte bald der wirtschaftliche Erfolg ein. Die Forschungsleistungen wurden mit bedeutenden Auszeichnungen gewürdigt: 2007 mit dem Erfinderpreis des Europäischen Patentamtes, 2008 war es der Deutsche Zukunftspreis für Technik und Innovation des deutschen Bundespräsidenten.

Vielfältige Einsatzbereiche

MEMS-Sensoren von Bosch erfassen Messgrößen wie Druck, Beschleunigung, Drehrate und Durchflussmenge oder messen die Richtung der Erd-Magnetfeldlinien gleichermaßen präzise wie zuverlässig. Messwertaufnehmer sind Federn, Balken, Gewichte oder Membranen in mikroskopisch kleinen Abmessungen: Nur tausendstel Millimeter messen die ins Silizium-Substrat geätzten Strukturen.

Weil die mikromechanische Sensorik nur schwache elektrische Signale hervorbringt, haben die Experten im Bauelementegehäuse neben dem Sensor oder teilweise sogar direkt auf demselben Chip meist noch eine Elektronik integriert. Sie verarbeitet die kleinen Signale, verstärkt sie oder wandelt sie in digitale Daten. MEMS-Sensoren können so Steuergeräte direkt mit Messwerten versorgen.

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