Elektronikpraxis Artikel | 15.09.2025 Zeiss bringt AIMS EUV 3.0 in die Produktion mit dreifachem Maskendurchsatz
:quality(80)/p7i.vogel.de/wcms/a7/72/a77255fc3465179acfaa129f0d3fd644/580727-xpeng-20p7-r5a9710-9202e9-original-1741189346-3600x2024v1.jpeg "„Automobilhersteller ist kein gutes Geschäftsmodell“, sagt He Xiaopeng, Gründer und Vorstandsvorsitzender des chinesischen E-Autobauers Xpeng. (Bild: Xpeng)")
China Automotive Insider :quality(80)/p7i.vogel.de/wcms/fc/6c/fc6cc84bc72b1821f10250ea0872d592/220530-tuev-dsc3487f-3189x1793v1.jpeg "Das Bild zeigt eine Prüfkammer des TÜV Rheinland. In dieser können Akkus kontrolliert belastet und überlastet werden. (Bild: TÜV Rheinland/Oliver Tjaden)")
:quality(80)/p7i.vogel.de/wcms/8e/35/8e35a47ad2c61cca674c32b426236fc6/0130460017v1.jpeg "Die Kühlplatte von Mubea soll dank Rollbonden zehn Prozent leichter und günstiger als Wettbewerbskonzepte sein. (Bild: Mubea)")
:quality(80)/p7i.vogel.de/wcms/7a/48/7a4894d83d94f0f765f67ec5391c61d8/gac-aion-6-3000x1687v1.jpeg "Chinesische Autohersteller expandieren global. Vor allem die Anbieter von E-Autos profitieren momentan von hohen Kraftstoffpreisen in Folge des Irankriegs. (Bild: GAC)")
:quality(80)/p7i.vogel.de/wcms/96/28/9628295b29da5630d47c1dea0d6eeb3d/0131009898v2.jpeg "Der Aumovio-Standort Rheinböllen geht an eine Tochtergesellschaft der Beratung Falkensteg über. (Bild: Aumovio)")
:quality(80)/p7i.vogel.de/wcms/4e/b4/4eb48f891c07e82884d419183704ffb6/0130925257v2.jpeg "Plug-in-Hybrid als ausgewogene Lösung (Bild: Peugeot via Autoren-Union Mobilität)")
:quality(80)/p7i.vogel.de/wcms/4f/56/4f56cdc9a639876f6cf412fcfb1f1b0a/0131010404v2.jpeg "Volkswagen hat seinen neuen elektrischen Kleinwagen vorgestellt, den ID Polo. (Bild: Achter – VCG)")
:quality(80)/p7i.vogel.de/wcms/55/53/5553cde131e45388a152def251023b1a/0130882137v2.jpeg "Der Kia PV5 Cargo mit Hochdach bei der Europapremiere in Birmingham. (Bild: Kia)")
:quality(80)/p7i.vogel.de/wcms/d4/de/d4dee2ac9c4f16456cbf573562ada5cf/0130933880v2.jpeg "Baidu Maps und Here Technologies besiegeln ihre Zusammenarbeit mit einem Handschlag (Bild: HERE Technologies)")
:quality(80)/p7i.vogel.de/wcms/4b/a9/4ba9ea9b6766978535cdc5af1606e8ad/0131015083v2.jpeg "BYD arbeitet am extrem schnellen Laden. (Bild: Tomas Hirschberger)")
:quality(80)/p7i.vogel.de/wcms/f5/63/f563b265722d5072b005d3ed241437e4/260424-man-spirit-e-6-5184x2915v1.jpeg "Bei der Premiere in Regensburg (v.l.): Thomas Ille, Leiter Early Pilots & Innovation Partnering bei MAN Truck & Bus; Conrad Mummert, Lead SBRS Europe; Markus Schmid, Geschäftsführer Spedition Schmid; Sandra Wimmer, Vorstandsmitglied REWAG; Markus Lienkamp, Lehrstuhl für Fahrzeugtechnik Technische Universität München. (Bild: MAN Truck & Bus)")
:quality(80)/p7i.vogel.de/wcms/02/d4/02d4f78a21b0237b18f909835837a075/folien-fahrzeug-3000x1687v1.jpeg "Die Fachtagung „Folien + Fahrzeug/Plastic Films in Mobility“ findet im Jahr 2026 zum 20. Mal statt. (Bild: SKZ)")
:quality(80)/p7i.vogel.de/wcms/0e/7d/0e7d34e7b560fd42a30d002e396a5509/0131024895v1.jpeg "Mercedes-Benz hat in Sindelfingen offiziell die Produktion der Facelift-Varianten von S-Klasse, Mercedes-Maybach S-Klasse und EQS begonnen. Dabei waren Betriebsratschef Ergun Lümali (l.), Werkleiterin Sara Gielen und Produktionsvorstand Michael Schiebe. (Bild: Mercedes-Benz)")
:quality(80)/p7i.vogel.de/wcms/f6/14/f6141871e9c1330ff35724362914de78/a260073-large-960x540v1.jpeg "Der Leitungssatz bekommt durch automatisiertes Taping seine finale Form. (Bild: Audi)")
:quality(80)/p7i.vogel.de/wcms/de/a4/dea409d7b69fce654dc17bc3d20f4856/0130985504v2.jpeg "Einstieg in die Zukunft: Volvo CEO Håkan Samuelsson fuhr beim Start-of-Production-Termin den ersten Serien-EX60 eigenhändig vom Band. (Bild: Thorsten Weigl/Volvo Cars)")
:quality(80)/p7i.vogel.de/wcms/be/ab/beabdbcdc77222bd18e0e38335ea74e8/20260422-ex60-sop-event-kdw009-6000x3373v1.jpeg "Volvo-Chef Hakan Samuelsson (r.) war beim Produktionsstart in Torslanda dabei. (Bild: Volvo)")
:quality(80)/p7i.vogel.de/wcms/3b/0a/3b0aafddd92f39bbcc88f2020d219c49/dnt2025-0412-christian-koester-5000x2811v1.jpeg "(Bild: ©Christian Köster)")
:quality(80)/p7i.vogel.de/wcms/2f/25/2f255e0dd670eb87a73f552e3b9253ff/0130800075v2.jpeg "Daniel Schönfelder, Leiter des Unternehmensbereichs Battery Materials bei BASF (l.), und Marc Affüpper, Geschäftsführer der TSR Group, einigten sich auf eine Zusammenarbeit beim Recycling von E-Auto-Batterien. (Bild: BASF)")
:quality(80)/p7i.vogel.de/wcms/d3/49/d3497388c21393d0544377d17b5d675c/0130742432v2.jpeg "Richtfest einer LFP-Produktionsanlage in Bitterfeld Wolfen (Bild: Dominique Wollniok)")
:quality(80)/p7i.vogel.de/wcms/b7/91/b7913562029790815700aaf19670f395/0130660942v4.jpeg "Der Green Power Premium Steel ist eingestuft in der Klasse LESS A (Bild: GMH Gruppe)")
:quality(80):fill(ffffff,1)/p7i.vogel.de/wcms/0c/25/0c2565cb2d82b8ed60026ad70723b2ba/0126659798v2.jpeg?v= "Zeiss AIMS EUV 3.0: Die neue Generation des Maskenqualifizierungssystems verdreifacht den Maskendurchsatz. Die zukunftssichere Plattform für Low-NA- und High-NA-EUV-Lithographie hat sich bereits erfolgreich am Markt etabliert. (Bild: Zeiss)")
:quality(80):fill(ffffff,1)/p7i.vogel.de/wcms/15/10/1510052f386b753acafd3469fe1ceb2d/0123747201v2.jpeg?v= "Zeiss-Beleuchtungssystem für High-NA-EUV-Lithografie. Die fortschrittliche Belichtungstechnologie, die unter anderem in den Waferscannern von ASML Verwendung findet, leistet ihren Beitrag bei der Erforschung von Entwicklungstechniken für Halbleitern im Sub-2nm-Bereich. (Bild: ZEISS)")
:quality(80):fill(ffffff,1)/p7i.vogel.de/wcms/af/2b/af2b595760828a88ef28eb9b99320bda/0116419385.jpeg?v= "Das Zeiss Beleuchtungssystem für die High-NA-EUV-Lithografie wiegt rund sechs Tonnen und besteht aus mehr als 25.000 Einzelteilen. (Bild: ZEISS)")